功率元器件，CMOS图像传感器，先进封装以及微机电系统等技术正在推动中国的集成电路制造行业不断发展。得益于MEMS研发团队和200mm生产工厂数量不断增长，中国微机电系统产业开始从纯研发阶段过渡到大批量生产阶段。作为全球大规模制造半导体元器件的领先企业，应用材料公司以其专业知识和广泛的产品技术组合非常适合MEMS的制造和研发。
近日，借MIG亚洲论坛之东风，小编有幸和全球最大的半导体制造设备厂商之一的应用材料公司200mm系统部门战略和技术营销总监Michel Rosa博士及应用材料公司全球服务产品事业部部件与系统产品事业部200mm设备及产品升级副总裁原铮博士进行了一次简短交流，并听他们阐述了200mm市场现状及应用材料公司针对这一市场的发展布局。
Michel Rosa博士 原铮博士
成立于1967年的应用材料公司。是半导体、平板显示和太阳能光伏行业材料工程解决方案的全球领导者。应用材料公司的技术使智能手机、平板电视和太阳能面板等创新产品以更普及、更具价格优势的方式惠及全球商界和普通消费者。
从客户角度来考量，在设备的选择上，无论是200mm还是300mm都不是技术问题，更多是基于成本考虑。据原铮博士介绍，在现有200mm向300mm的设备推进中，应用材料公司仍在积极投入研发在200mm - 300mm间的产品，以寻求更高的性价比。Michel认为，从现有市场来看，200mm仍然是MEMS产品的主要设备，并还将持续保持增长。MEMS市场的爆发将创造更多经济价值，应用材料公司也会持续投入200mm设备的研发，来支持MEMS产业的发展。同时，也正在开展新材料和工艺解决方案的研发，来迎接MEMS市场中新的挑战。（推荐阅读Michel Rosa博士的“200mm晶圆的应用范围日益扩大，正推动MEMS工艺技术的进步”一文）
目前，应用材料公司利用所属的西安200mm工厂和美国的研发团队与中国客户密切合作，为客户提供量身定制的解决方案。